| 低温沉积ITO透明导电膜的研究 |
| |
| 引用本文： | 沈玫,纪建超,贺会权.低温沉积ITO透明导电膜的研究[J].材料工程,2006(Z1):17-19. |
| |
| 作者姓名： | 沈玫 纪建超 贺会权 |
| |
| 作者单位： | 北京航空材料研究院,北京,100095 |
| |
| 摘 要： | 通过探讨半导体氧化物ITO膜的透光和导电机理,用反应性直流磁控溅射的镀膜工艺,在有机玻璃上低温镀制(ITO)膜,研究ITO膜溅射工艺参数与透光和导电性能的关系,实现了在低温下镀制(ITO)膜的技术,其透光率≥80%以上,表面电阻≤30Ω/□.
|
| 关 键 词： | 透明导电膜 ITO膜 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1001-4381(2006)Suppl-0017-03 |
Investigation of Sputting Coating ITO Transparent Electrconductive Film at Lower Temperature |
| |
| SHEN Mei,JI Jian-chao,HE Hui-quan.Investigation of Sputting Coating ITO Transparent Electrconductive Film at Lower Temperature[J].Journal of Materials Engineering,2006(Z1):17-19. |
| |
| Authors: | SHEN Mei JI Jian-chao HE Hui-quan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | transparent conductive coatings ITO film magnetic control sputting |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
