| 溅射原子角分布的同位素效应 |
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| 引用本文： | 王震遐,朱福英,陈文彪,张衡山,张阿虎.溅射原子角分布的同位素效应[J].核技术,1986(2). |
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| 作者姓名： | 王震遐 朱福英 陈文彪 张衡山 张阿虎 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所
(王震遐，朱福英，陈文彪)，上海半导体器件研究所
(张衡山)，上海半导体器件研究所(张阿虎) |
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| 摘 要： | 本文报道了用50keV Ar~+离子在垂直入射情况下对Cu元素进行溅射的实验。研究了作为发射角函数的同位素富集行为。结果表明,较轻的同位素无富集,而较重的同位素在从～5°到80°发射角范围内都是富集的。
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| 关 键 词： | 溅射 角分布 择优发射 |
Isotope effects on angular distribution of sputtering atoms |
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| Wang Zhenxia Zhu Fuying Chen Wenbiao.Isotope effects on angular distribution of sputtering atoms[J].Nuclear Techniques,1986(2). |
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| Authors: | Wang Zhenxia Zhu Fuying Chen Wenbiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sputtering angular distribution preferential ejection |
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