| 一种0.18μm CMOS毫米波带通滤波器的设计 |
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| 引用本文： | 吴国峰,孙玲玲,文进才,成东波.一种0.18μm CMOS毫米波带通滤波器的设计[J].微电子学,2011,41(3). |
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| 作者姓名： | 吴国峰 孙玲玲 文进才 成东波 |
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| 作者单位： | 杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,杭州,310018 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60906015); 浙江省自然科学基金资助项目(Y1090877) |
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| 摘 要： | 基于SMIC 0.18μm RF-CMOS工艺,设计了一种采用垂直地平面共面波导(VGPCPW)传输线的片上30 GHz带通滤波器。通过对传统CPW和VGP CPW两种不同结构传输线的理论研究,对比分析了两者的损耗、特征阻抗及隔离特性,建立了VGP CPW长度可扩展的传输线模型。使用特征阻抗为50Ω的低损耗VGP CPW传输线结构,结合VGP CPW长度可扩展模型与EM分析方法,设计了30 GHz带通滤波器。在片测试结果表明,该毫米波VGP CPW传输线滤波器模型仿真和电磁场仿真S参数曲线与测试结果比较吻合,可为毫米波集成电路滤波器设计提供借鉴。
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| 关 键 词： | 毫米波 CMOS VGPCPW传输线 带通滤波器 |
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