| Fe3+离子敏感Ge-Sb-Se-Fe系薄膜的真空热蒸发制备研究 |
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| 引用本文： | 张海芳,杜丕一,翁文剑,韩高荣,赵高凌. Fe3+离子敏感Ge-Sb-Se-Fe系薄膜的真空热蒸发制备研究[J]. 真空科学与技术学报, 2004, 24(6): 442-444,447 |
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| 作者姓名： | 张海芳 杜丕一 翁文剑 韩高荣 赵高凌 |
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| 作者单位： | 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室,杭洲,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目，教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 本文通过在低温下烧结靶材,利用电子束蒸发方法制备了Ge/Sb/Se/Fe比例可控的Fe3 离子敏感Ge-Sb-Se-Fe系薄膜.用XRD和PHS-9V型酸度计研究薄膜的结构和性能.研究表明薄膜的Fe3 离子敏感性能为(50.375±4.125) mV/十倍浓度,线性响应Fe3 浓度范围(10-2～10-6) mol/L.
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| 关 键 词： | Fe3 离子敏感薄膜 真空热蒸发 低温烧结 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)06-0442-03 |
Growth of Fe3+ lon-Sensitive Ge-Sb-Se-Fe Film by Vacuum Deposition |
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| Zhang Haifang,Du Piyi,Weng Wenjian,Han Gaorong and Zhao Gaoling. Growth of Fe3+ lon-Sensitive Ge-Sb-Se-Fe Film by Vacuum Deposition[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2004, 24(6): 442-444,447 |
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| Authors: | Zhang Haifang Du Piyi Weng Wenjian Han Gaorong Zhao Gaoling |
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| Affiliation: | Zhang Haifang,Du Piyi*,Weng Wenjian,Han Gaorong and Zhao Gaoling |
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| Keywords: | Fe 3 ion-sensitive thin film Vacuum thermal evaporation Low-temperature sintering |
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