| 过渡层对含氢非晶碳膜生长的影响 |
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| 引用本文： | 蔺增,巴德纯.过渡层对含氢非晶碳膜生长的影响[J].真空科学与技术学报,2006,26(6):491-493. |
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| 作者姓名： | 蔺增 巴德纯 |
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| 作者单位： | 1. 东北大学,沈阳,110004;塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室,武汉,430074
2. 东北大学,沈阳,110004 |
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| 摘 要： | 本文利用射频等离子体增强化学气相沉积（RFPECVD）工艺在不锈钢基底上制备了含氢非晶碳膜（a-C：H膜）。在沉积碳膜之前，首先在基底表面预先沉积了Ti／TiC、Ti／TiN和Ti／TiN／TiC等过渡层以提高膜基结合力。利用激光Raman光谱分析了过渡层对a-C：H膜生长过程及膜中sp^3含量的影响。实验结果表明，采用Ti／TiN／TiC过渡层时所制备的a-C：H膜中sp^3含量最多，同时膜基结合力最大。
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| 关 键 词： | 含氢非晶碳膜 过渡层 膜基结合力 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）06-0491-03 |
| 收稿时间： | 2005-12-05 |
| 修稿时间： | 2005年12月5日 |
Influence of Transition Layers on Adhesion at Interface of Hydrogenated Amorphous Carbon Film and Stainless Steel Substrate |
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| Lin Zeng,Ba Dechun.Influence of Transition Layers on Adhesion at Interface of Hydrogenated Amorphous Carbon Film and Stainless Steel Substrate[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(6):491-493. |
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| Authors: | Lin Zeng Ba Dechun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Hydrogenated amorphous carbon film Transition interlayer Adhesion strength |
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