| 用InO3薄膜制成的高感度半导体O3传感器 |
| |
| 引用本文： | 牛文成,徐春林,张福海,祁增芳,张玉英,赖斌斌.用InO3薄膜制成的高感度半导体O3传感器[J].传感技术学报,1998,11(1). |
| |
| 作者姓名： | 牛文成 徐春林 张福海 祁增芳 张玉英 赖斌斌 |
| |
| 作者单位： | 南开大学电子科学系 天津市, 300071 |
| |
| 摘 要： | 用& ? ( ??% 。作敏感膜研制出小型固态高感度?? ) ? ? ) +, +?+. / % ?? ?? 义?? 一0 一? 又?? 一1 % ? ! 传感
器
研究了膜厚、气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响, 发现2 3 4 ?? 2 5 )6 7 8. +6 ?
39 9? : . 4 7; ? ) +). 67 % 型? ! 传感器具有灵敏的响应特性
并分析了薄膜表面的化学吸附及其对
薄膜电导的影响, 以及2 3 4 作用对? ! 非常敏感的物理机制
关键词< = 传感器高感度& ? ( < ! 薄膜化学吸附德拜长
|
| 关 键 词： | O3传感器 高感度 InO2薄膜 化学吸附 德拜长度 吸附效应 晶体管 |
|
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《传感技术学报》下载全文 |
|
