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杂志ISSN号
集成电路 流量传感器
引用本文:
冯耀兰,童勤义,黄金彪,刘方悟,骆志强.集成电路 流量传感器[J].传感技术学报,1991,4(2).
作者姓名:
冯耀兰
童勤义
黄金彪
刘方悟
骆志强
摘 要:
木文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技 术? 理论和实验结果表明, 这种传感器具有很高的灵敏度, 特别适合于液体小流量的测量
关 键 词:
木文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技
术?
理论和实验结果表明
这种传感器具有很高的灵敏度
特别适合于液体小流量的测量
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