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| 集成电路 流量传感器 | |
| 作者姓名： | 冯耀兰 童勤义 黄金彪 刘方悟 骆志强 |
| 摘 要： | 木文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技术? 理论和实验结果表明, 这种传感器具有很高的灵敏度, 特别适合于液体小流量的测量 |
| 关 键 词： | 木文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技术? 理论和实验结果表明 这种传感器具有很高的灵敏度 特别适合于液体小流量的测量 |
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