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啼化福新型各射线探测器的研制
引用本文:刘振茂,张好源,张国威,理峰.啼化福新型各射线探测器的研制[J].传感技术学报,1994,7(2).
作者姓名:刘振茂  张好源  张国威  理峰
作者单位:哈尔滨工业大学
摘    要:本文介绍一种新型的各射线探测器的制造过程及其特性% 采用背吸杂技术有效地 降低了器件的反向漏电流并提高了成品率, 提出并应用真空镀铜工艺制作& 型啼化镐的 低阻接触, 取得了良好的效果% 该探测器由一个&? 结二极管构成% 在?( ) , ? + 的电压下 其反向漏电流小于, % ? . ??( 一’“ / 0 1 2 1 ? , 在!( ℃ , ? + 的电压下其反向漏电流小于, % 3 . ?? ( 一“ / 0 1 41 ?? ? , 因而探浏器可在!( ℃ 下正常工作% 在标准5? 伦各射线源上获得了?? % “ . ?? 。一, / 的输出电流, 其截止频率大于? , ( 。比

关 键 词:核辐射探浏器  啼化镐件扮线探测器  半导体器件
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