氧化担感湿薄膜的研究

在Ar-O2混合气氛中采用直流磁拉反应溅针沉积制得了氧化担薄膜。文章介绍了沉积薄膜的实验装置与工艺, 叙述了反应溅舫的过程与机理。用AES，XPS和X射线衍射研究了薄膜的成分与结晶结构, 用Ta2O5 薄膜研制成Si-MOS薄膜湿敏器件。测试结果表明, 这种新的湿敏器件具有高的灵敏度和非常快的响应速度。