|
|||||
|
|
| 新的PIN型0.95um拜( 光探测器设计 | |
| 引用本文： | 李国正,李代宗.新的PIN型0.95um拜( 光探测器设计[J].传感技术学报,1997,10(1). |
| 作者姓名： | 李国正 李代宗 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系 西安市 710049 |
| 摘 要： | 提出并设计了一种新的?# ? 型。&
??? 拜( 光探浏器&
它的?? 层是, ?.
&
! ??? %
&
/ )0 1 ( + 2 34
)??5 1 ( +
, 共? % 个周期& 上、
6 缓冲层厚各为%
&
?? 拜( , 1 气? ??)?? % 5 % ? ( 一, + 厚约%
&
? 拌(
, 衬底
为)?? % 。》? 十一34 , 器件面积为? ( ( 5 & 这种探测器一旦实现, 它对%
&
??? 拜( 光的灵敏度比硅
?# ? 型探洲器高得多, 可用于火灾报誉等场合 |
| 关 键 词： | 光探测器 GeSi SLS |
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《传感技术学报》下载全文 | |