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| 溶胶一凝胶法制备SnO2薄膜 气敏特性的实验研究 | |
| 引用本文： | 王培英,胡镊,刘梅冬,饶温华,曾亦可.溶胶一凝胶法制备SnO2薄膜 气敏特性的实验研究[J].传感技术学报,1997,10(3). |
| 作者姓名： | 王培英 胡镊 刘梅冬 饶温华 曾亦可 |
| 作者单位： | 华中理工大学固电系, 武汉 430074 |
| 摘 要： | 本文介绍了, 以!? ?( ) · ? + 刀为原材料, 用,% ?
一罗. 技术制备(灸% 掺杂的!? / 。薄膜气
敏材料0
研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气敏特性的影响0
实验表明(, 1 % ) 掺杂的!? 几
薄膜气敏材料对以飞有很好的响应特性, 即有高的灵敏度和快的响应时间0 随翎含量的增加
〔# 一?% & 2 34 均, 灵敏度增加, 工作温度向低温方向移动
0 在低氧分压下热处理, 能形成精细
的晶粒与孔洞, 灵敏度大幅度增加
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| 关 键 词： | 气敏特性 sol-gel技术 掺杂 灵敏度 |
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