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| 金属氧化物气敏传感器 | |
| 引用本文： | 徐毓龙,G.Heiland.金属氧化物气敏传感器[J].传感技术学报,1996,9(1). |
| 作者姓名： | 徐毓龙 G.Heiland |
| 作者单位： | 西安电子科技大学电子材料与电子元器件教研室 西安, 710071 German |
| 摘 要： | 金属氧化物气敏传感器是金属氧化物与被测气体发生作用后, 改变了它的电性质, 从
而把气体成份、浓度等化学信息转换成电的信息的一种元器件金属氧化物的电性质与材
料的点缺陷有密切的关系, 因而研究点缺陷理论对了解金属氧化物气敏传感器的作用原
理, 改善其气敏性能都是很必要的 |
| 关 键 词： | 金属氧化物气敏传感器 |
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