多自由度短行程超精密平面电机技术发展综述 |
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作者姓名: | 寇宝泉 张赫 |
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作者单位: | 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院 |
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基金项目: | 国家科技重大专项(2009ZX02207-001);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-08-0158)资助项目 |
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摘 要: | 多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点,在半导体光刻加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精密加工装备领域具有广阔的应用前景,近年来受到学术界的广泛关注。本文介绍了多自由度短行程超精密平面电机的研究现状,对近年来国内外用于实现超精密定位的主流结构进行了综述,总结了目前超精密平面电机的主要研究内容与关键技术,并讨论了其未来的发展趋势。
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关 键 词: | 平面电机 超精密定位 多自由度 短行程 重力补偿器 |
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