| 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用 |
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| 引用本文： | 刘新福,孙以材,刘东升. 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J]. 半导体技术, 2004, 29(7): 48-52 |
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| 作者姓名： | 刘新福 孙以材 刘东升 |
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| 作者单位： | 河北工业大学微电子技术研究所,天津,300130;河北工业大学微电子技术研究所,天津,300130;河北工业大学微电子技术研究所,天津,300130 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 河北省自然科学基金 , 天津市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski法的测试原理,并应用斜置式Rymaszewski法研制成新型的四探针测试仪,利用该仪器对样品进行了微区(300μm×300μm)薄层电阻测量,做出了样品的电阻率等值线图,为提高晶锭的质量提供了重要参考.
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| 关 键 词： | 四探针技术 薄层电阻 测试技术 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)07-0048-05 |
| 修稿时间： | 2003-08-08 |
The principle and application of testing sheet resistance with four-point probe techniques |
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| LIU Xin-fu,SUN Yi-cai,LIU Dong-sheng. The principle and application of testing sheet resistance with four-point probe techniques[J]. Semiconductor Technology, 2004, 29(7): 48-52 |
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| Authors: | LIU Xin-fu SUN Yi-cai LIU Dong-sheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | four-point probes technique sheet resistance testing techniques |
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