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| 功率晶体管管芯背面多层金属电极工艺 | |
| 作者姓名： | 韩述斌 任忠祥 |
| 作者单位： | 山东工业大学(韩述斌)，山东半导体总厂(任忠祥) |
| 摘 要： | 以功率晶体管ＢＵ４０６管芯为例采用背面多层电极工艺，大大提高了器件的抗热疲劳性、稳定性和可靠性。产品合格率和间歇工作寿命均达到了国内外同类产品的先进水平 |
| 关 键 词： | 功率晶体管 背面多层金属电极 上粘附层 过渡层 下粘附层 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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