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| 63.5 mm×127 mm英寸UT 1×光刻版的设计及制造 | |
| 作者姓名： | 粟鹏义 陈开盛 曹庄琪 |
| 作者单位： | 上海光刻电子科技有限公司,上海,200233;上海交通大学,上海,200030;上海交通大学,上海,200030;上海光刻电子科技有限公司,上海,200233 |
| 摘 要： | 提出一种新的UT 1X光刻版规格:63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机.相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整.新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了一倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护. |
| 关 键 词： | UltraTech 数据处理 光刻版 光刻 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)06-0030-03 |
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