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球冠形栅网曲率半径测量的实验研究
引用本文:李庆祥,王云庆,薛实福,徐毓娴.球冠形栅网曲率半径测量的实验研究[J].仪器仪表学报,1997,18(5):468-474.
作者姓名:李庆祥  王云庆  薛实福  徐毓娴
作者单位:清华大学精密仪器与机械学系
摘    要:本文采用精密机械——显微镜——CCD摄像机——图像处理——光栅测量——计算机控制的测量方案。采用图象处理的方法实现了光学非接触对准,通过对栅网上数点进行最小二乘拟合,准确地得到了球冠形栅网的曲率半径。本文介绍了该测量原理并对该测量方案进行了实验,实验结果表明,重复测量精度可达±5μ

关 键 词:球冠形栅网  图象处理  最小二乘拟合  计算机控制

Experiment Study on the Measurement of Curvature Radius of the Spherical Grid
Affiliation:Tsinghua University Beijing 100084
Abstract:
Keywords:Spherical grid  Image processing  Least square fitting  Computer control    
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