| 压电半球冲击传感器的仿真与分析研究 |
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| 引用本文： | 王柱,王大志,赵奎鹏,袁钰恒,宗浩然. 压电半球冲击传感器的仿真与分析研究[J]. 机电工程技术, 2021, 50(9): 27-29,169. DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2021.09.007 |
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| 作者姓名： | 王柱 王大志 赵奎鹏 袁钰恒 宗浩然 |
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| 作者单位： | 大连理工大学辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁大连 116024 |
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| 摘 要： | 利用COMSOL软件仿真分析了传感器性能,建立压电半球冲击传感器内部结构模型,初步确定传感器在多个角度上均具有冲击应力,分析冲击应力在厚膜上的分布情况,选择压电厚膜与基底结合最合适倒圆,在垂直方向上冲击产生电荷产生量和冲击加速度大小成正比,利用电流体喷印工艺制备了传感器半球压电厚膜,采用电喷打印装置进行电流体喷印实验保证厚膜质量,利用磁控溅射技术在厚膜表面制备电极并进行极化,最后使用小型冲击实验台和标准传感器进行测试,得到压电半球传感器在3000g加速度下冲击信号曲线,测得传感器的灵敏度为2.86 pc/g,验证了压电半球冲击传感器性能.
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| 关 键 词： | 压电 冲击传感器 COMSOL仿真 电流体喷印 |
Simulation and Analysis of Piezoelectric Hemispherical ImpactSensor |
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| Wang Zhu,Wang Dazhi,Zhao Kuipeng,Yuan Yuheng,Zong Haoran. Simulation and Analysis of Piezoelectric Hemispherical ImpactSensor[J]. Mechanical & Electrical Engineering Technology, 2021, 50(9): 27-29,169. DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2021.09.007 |
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| Authors: | Wang Zhu Wang Dazhi Zhao Kuipeng Yuan Yuheng Zong Haoran |
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