| PZT纳米梁的制造和压电信号测试 |
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| 引用本文： | 张二帅,王大志,徐鹏飞,李经国,李沛然.PZT纳米梁的制造和压电信号测试[J].机电工程技术,2021,50(9):84-86. |
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| 作者姓名： | 张二帅 王大志 徐鹏飞 李经国 李沛然 |
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| 作者单位： | 大连理工大学辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁大连 116024 |
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| 摘 要： | 压电纳米器件具有体积小、灵敏度高、可集成度高等优点.阐述了同轴聚焦电流体喷射打印技术的原理,研究了电压、内液流量、喷针与衬底的距离对打印线结构的尺寸与形状的影响.根据实验结果,设置电压为5.7 kV,内液流量为70 nL/min,喷针与衬底的间距为17 mm,打印出直径约80 nm,长度约70μm的PZT纳米梁.此外,采用探针台、电荷放大器和数字万用表搭建的检测装置,测试分析了单根PZT两端固支梁的压电信号,当梁中点的变形约3μm时,产生的电荷量达到10-4 pC量级.
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| 关 键 词： | PZT 纳米梁 同轴聚焦 压电测试 |
Fabrication and Piezoelectric Signal Measurement of PZT Nanobeam |
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| Zhang Ershuai,Wang Dazhi,Xu Pengfei,Li Jingguo,Li Peiran.Fabrication and Piezoelectric Signal Measurement of PZT Nanobeam[J].Mechanical & Electrical Engineering Technology,2021,50(9):84-86. |
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| Authors: | Zhang Ershuai Wang Dazhi Xu Pengfei Li Jingguo Li Peiran |
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