微波等离子体化学汽相沉积人工合成金刚石薄膜的进展

本文在简述了人工合成金刚石薄膜的各种工艺方法之后，重点综述微波等离子体化学汽相沉积 （ＭＷＰＣＶＤ）的工艺方法，同时，微波功率对类金刚石薄膜晶粒尺寸的影响，尤其是原子Ｈ在形成金刚 石相及抑制生成石墨相的机理进行了解释，并提出了若干预测。