高精度平面气浮导轨的误差均化效应研究

气浮导轨具有高运行精度、高平稳性的一个重要因素在于气体具有误差均化作用。为了探究误差均化作用的大小,通过多个不同波长的正弦函数来模拟导轨轮廓误差,建立平面气浮导轨物理模型,采用有限差分的数值计算方法求出动气浮导轨在运动过程中的各个平衡位置参数,进而利用最小包容法求出其运行直线度。结果表明:气体润滑很好地实现了气浮导轨误差均化作用,且效果明显;与无气体润滑状态时相比,气浮导轨在通气状态时的运行直线度提高了约一倍,与静导轨轮廓误差相比提高了约2/3。建立的气体误差均化效应计算方法为探究误差均化的影响因素奠定了理论基础。