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| 石英管铝杂质吸收效应的分析与研究 | |
| 作者姓名： | 刘秀喜 高大江 等 |
| 作者单位： | [1]山东师范大学半导体所 [2]北京整流器厂 |
| 摘 要： | 本文根据实验和样品的光谱分析,电子探针分析的结果,证明石英管对铝杂质具有很强的吸收效应,是导致铝蒸汽压低和硅睛表面扩铝浓度小的主要原因之一,并介绍了相应措施. |
| 关 键 词： | 石英管 晶闸管 铝杂质 吸收效应 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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