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提高半导体气敏元件性能稳定性和可靠性的新途径
引用本文:林化新,范淑华.提高半导体气敏元件性能稳定性和可靠性的新途径[J].化学传感器,1993,13(2):14-19.
作者姓名:林化新  范淑华
作者单位:中科院大连化学物理研究所 116012
摘    要:利用多元贵金属作为本半导体气敏元件的敏感剂,同时又作为稳定剂,使元件在多种干扰因素作用下,其性能表现为稳定可靠。这表明了多元贵金属作为元件的稳定剂又作为敏感剂是提高元件性能稳定性和可靠性的有效新途径。

关 键 词:半导体  气敏元件
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