| 微电子机械系统的研究进展 |
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| 引用本文： | 李炳乾,朱长纯,刘君华.微电子机械系统的研究进展[J].国外电子元器件,2001(1):4-9. |
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| 作者姓名： | 李炳乾 朱长纯 刘君华 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电信学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家教育部博士点基金，教育部重点实验室和西安交通大学学科建设重点项目资助 |
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| 摘 要： | 本文从微电子机械系统（MEMS）的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程；综述了国内外MEMS加工技术，特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展，介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力，提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。
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| 关 键 词： | MEMS 微机械器件 微电子 微电子机械系统 机械加工 |
| 文章编号： | 1006-6977(2001)01-0004-05 |
| 修稿时间： | 2000年6月21日 |
Development of MEMS Technique and Devices |
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| Li Bingqian,Zhu Changchun,Liu Junhua.Development of MEMS Technique and Devices[J].International Electronic Elements,2001(1):4-9. |
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| Authors: | Li Bingqian Zhu Changchun Liu Junhua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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