| 用AFM压痕技术定量介观硬度的方法研究 |
| |
| 引用本文： | 朱守星,丁建宁,范真,蔡兰.用AFM压痕技术定量介观硬度的方法研究[J].仪器仪表学报,2005,26(3):272-275. |
| |
| 作者姓名： | 朱守星 丁建宁 范真 蔡兰 |
| |
| 作者单位： | 1. 江苏大学微纳米技术研究中心,镇江,212013;东华大学机械工程学院,上海,200051
2. 江苏大学微纳米技术研究中心,镇江,212013 |
| |
| 基金项目： | 江苏省教育厅科技计划(03KJD460066)，江苏大学微纳米技术研究中心专项基金，开放基金资助项目 |
| |
| 摘 要： | 用原子力显微镜(AFM)纳米压痕方法结合扫描力显微镜技术，表征类金刚石(DLC)膜，金块Au，单晶硅Si的纳米硬度。用能量密度理论解释基于AFM压痕技术测定纳米硬度的机理，给出AFM纳米压痕的能量平衡方程。对DLC膜，金块，单晶硅进行纳米压痕试验，表明在同样载荷下，不同材料的压痕深度是不相同的。DLC膜具有较高的抗压性能，Si其次，Au的抗压性能最低。通过曲线拟合技术，定量给出金块的纳米硬度分析模型：H=(2．83／Df) 2．86。
|
| 关 键 词： | 纳米硬度 纳米压痕 类金刚石 原子力显微镜（AFM） 抗压性能 单晶硅 材料 DLC膜 表征 能量密度 |
| 修稿时间： | 2003年5月1日 |
Study on Method of Quantitative Measuring Nano-hardness Based on AFM Indentation Technique |
| |
| Zhu Shouxing,Ding Jianning,FAN Zhen,CAI Lan.Study on Method of Quantitative Measuring Nano-hardness Based on AFM Indentation Technique[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2005,26(3):272-275. |
| |
| Authors: | Zhu Shouxing Ding Jianning FAN Zhen CAI Lan |
| |
| Affiliation: | Zhu Shouxing 1,2 Ding Jianning 1 Fan Zhen 1 Cai Lan 1 1 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | AFM Indentation Hardness Diamond-like carbon |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
