多晶硅生产SiHCl_3精馏工艺改造

针对多晶硅生产中SiHCl_3精馏工艺存在的问题,对其进行改造。改造后,工艺流程简化,设备配套使用量大幅度减少;生产系统的安全性和稳定性有所改善,月均产量增加约11.1%;副产物SiH_2Cl_2得到有效利用,尾气的排放量得到控制,月均减少NaOH和CaO使用量约0.8t;精馏塔塔顶、塔釜可分别节能约25%、28.7%;精制SiHCl_3产品和多晶硅产品的总合格率分别提高5.3%和5.9%。