| 微机电系统惯性电学开关的设计与制作 |
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| 引用本文： | 杨卓青,丁桂甫,蔡豪刚,刘瑞,赵小林.微机电系统惯性电学开关的设计与制作[J].中国机械工程,2008,19(9):1033-1036. |
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| 作者姓名： | 杨卓青 丁桂甫 蔡豪刚 刘瑞 赵小林 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明：开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。
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| 关 键 词： | 非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机电系统(MEMS) 微机电系统 惯性开关 电学 设计 制作 Inertia Electrical MEMS Design and Fabrication 表现 仿真结果 动力学 有限元 接触时间 响应时间 作用 加速度 试验测试 元器件 微型 |
| 文章编号： | 1004-132X(2008)09-1033-04 |
| 修稿时间： | 2007年4月23日 |
A Novel Design and Fabrication of MEMS Electrical Inertia Micro-switch |
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| Yang Zhuoqing,Ding Guifu,Cai Haogang,Liu Rui,Zhao Xiaolin.A Novel Design and Fabrication of MEMS Electrical Inertia Micro-switch[J].China Mechanical Engineering,2008,19(9):1033-1036. |
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| Authors: | Yang Zhuoqing Ding Guifu Cai Haogang Liu Rui Zhao Xiaolin |
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