| ZnS薄膜的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 宋学萍,杨筱静,孙兆奇.ZnS薄膜的制备及性能研究[J].功能材料,2006,37(11):1734-1736. |
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| 作者姓名： | 宋学萍 杨筱静 孙兆奇 |
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| 作者单位： | 安徽大学物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;安徽大学物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;安徽大学物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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安徽省自然科学基金
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安徽省教育厅科研项目
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安徽省人才基金 |
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| 摘 要： | 用射频溅射法在Si基片和石英基片上分别制备了490nm厚的ZnS薄膜,并在不同温度下进行退火处理.微结构分析表明:退火后的ZnS薄膜均呈多晶状态,晶体结构为立方闪锌矿结构的β-ZnS;随着退火温度的升高,薄膜的平均晶粒尺寸逐渐增大,由20℃的10.91nm增大到500℃的15.59nm,晶格常数在不同退火温度下均比标准值0.5414nm稍小.应力分析表明:退火后的ZnS薄膜应力减小,400℃时分布较均匀,平均应力为1.481×108Pa,应力差为1.939×108Pa.且400℃前为张应力,400℃以后转变为压应力.光学分析表明,随着退火温度的升高,ZnS薄膜的透过率增强,吸光度减弱.
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| 关 键 词： | ZnS薄膜 微结构 应力 退火温度 光学特性 |
| 文章编号： | 1001-9731(2006)11-1734-03 |
| 收稿时间： | 2006-01-26 |
| 修稿时间： | 2006-06-13 |
Study on preparation and properties of ZnS thin films |
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| SONG Xue-ping,YANG Xiao-jing,SUN Zhao-qi.Study on preparation and properties of ZnS thin films[J].Journal of Functional Materials,2006,37(11):1734-1736. |
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| Authors: | SONG Xue-ping YANG Xiao-jing SUN Zhao-qi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnS films microstructure stress annealing temperature optical properties |
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