| 用C离子的弹性反冲法测固体中氢分布 |
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| 引用本文： | 刘家瑞 李大万. 用C离子的弹性反冲法测固体中氢分布[J]. 原子能科学技术, 1990, 24(3): 7-12 |
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| 作者姓名： | 刘家瑞 李大万 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所 北京(刘家瑞，朱沛然，封爱国)，中央民族学院物理系 北京(李大万) |
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| 摘 要： | 文章介绍了用1.7MV小串列加速器提供的4—7MeV多电荷C离子,采用弹性反冲法(ERD)分析了α-Si:H中氢元素的深度分布。计算表明,近表面处的深度分辨率为15-30nm,可探测深度100—700nm。探讨了入射能量和散射几何条件的优化问题。比较了几种分析方法的测量结果。
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| 关 键 词： | 小串列 加速器 氢 分布 弹性反冲法 |
H DEPTH PROFILING IN SOLID BY ERD WITH C IONS |
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| LIU JIARUI,ZHU PEIRAN,FENG AIGUO,LI DAWAN Institute of Physics,Academia Sinica. H DEPTH PROFILING IN SOLID BY ERD WITH C IONS[J]. Atomic Energy Science and Technology, 1990, 24(3): 7-12 |
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| Authors: | LIU JIARUI ZHU PEIRAN FENG AIGUO LI DAWAN Institute of Physics Academia Sinica |
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| Affiliation: | LIU JIARUI,ZHU PEIRAN,FENG AIGUO,LI DAWAN Institute of Physics,Academia Sinica. Beijing Dept. of Physics,Central Institute of Nationalities,Beijing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Hydrogen Depth profile of hydrogen Elastic recoil detection technique |
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