P431-11型大型真空电容器无油超高真空排气台试制小结

一、概述随着电子工业的迅速发展,不仅要求真空电容器有较高的真空度,而且要求获得无油蒸汽污染的洁净真空。为了适应这一需要,我厂设计试制了一台供大型真空电容器排气用的无油超高真空排气台。