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| 一种双敏薄膜气体传感器的研究 | |
| 引用本文： | 管玉国,戴国瑞.一种双敏薄膜气体传感器的研究[J].传感技术学报,1996,9(4):84-87. |
| 作者姓名： | 管玉国 戴国瑞 |
| 作者单位： | 吉林大学电子工程系!长春130023 |
| 摘 要： | 半导体气体传感器主要应用于汽车的电子化、环境污染的检测和气体分析等领域,目前人们已做了大量工作.本课题组在长期的反复实验中发现,采用Fe_2O_3-SnO_2(掺杂
Ti）双层薄膜结构的气体传感器，在相同的条件下既可以检测乙醇气体，又可以检测NO_2气体．同时，不受常见的七、八种气体的干扰． |
| 关 键 词： | 气体传感器 双敏薄膜 实验 |
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