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CW CO_2激光退火后离子注入硅片的性质研究

作者姓名：	邬建根沈金萱屈逢源杨恒青赵有源高如芳

作者单位：	复旦大学物理系(邬建根，沈金萱，屈逢源，杨恒青，赵有源)，复旦大学物理系(高如芳)

摘要：	当激光功率、束斑直径和硅片预热温度一定时,存在一临界扫描速度。当激光扫描速度小于此临界位时,CW CO_2激光退火具有和热退火相同的载流子浓度、方块电阻、折射率、消光系数和反射率,但激光退火后少子扩散长度要比热退火的大几倍。
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