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准分子激光器中的X光预电离研究
引用本文:王又青,安承武.准分子激光器中的X光预电离研究[J].四川激光,1995,16(5):193-196.
作者姓名:王又青  安承武
作者单位:武汉激光技术国家重点实验室
摘    要:对于准分子激光器这样的高气压脉冲放电器件,为保证放电的均匀性,预电离是必不可少的。本文详细介绍了X光预电离的产生机理及实验装置,并进行了深入的实验研究及理论分析,对实际工作有较大的参考意义。

关 键 词:高气压脉冲放电  X光预电离  准分子激光器

The study of X-ray preionization for excimer laser
Wang Youqing An Chengwu Li Zaiguang.The study of X-ray preionization for excimer laser[J].Laser Journal,1995,16(5):193-196.
Authors:Wang Youqing An Chengwu Li Zaiguang
Abstract:In order to assure the homogeneity of pulse discharge at high pressure such as excimer laser,the preionization is indispensable,In this paper,the generator of X-ray is introduced,and experimental re-sults and the theoretical calculations are analysed in detail.All of this is valuable for practice.
Keywords:pulse discharge at high pressure  X-ray preionization  initial electron density  
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