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氨化Si基Ga2O3/Co薄膜制备GaN纳米线
引用本文:秦丽霞,薛成山,庄惠照,陈金华,李红,杨兆柱.氨化Si基Ga2O3/Co薄膜制备GaN纳米线[J].功能材料,2008,39(5):851-853.
作者姓名:秦丽霞  薛成山  庄惠照  陈金华  李红  杨兆柱
作者单位:山东师范大学,半导体研究所,山东,济南,250014
基金项目:国家自然科学基金 , 国家自然科学基金
摘    要:采用磁控溅射技术先在硅衬底上制备Ga2O3/Co薄膜,然后在900℃时于流动的氨气中进行氨化反应制备GaN薄膜.X射线衍射(XRD)、傅立叶红外吸收光谱(FTIR)、选区电子衍射(SAED)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)的分析结果表明,采用此方法得到了六方纤锌矿结构的GaN单晶纳米线.通过扫描电镜(SEM)观察发现纳米线的形貌,纳米线的尺寸在 50~200nm之间.

关 键 词:磁控溅射  GaN纳米线  Co
文章编号:1001-9731(2008)05-0851-02
修稿时间:2007年9月14日

Synthesis of GaN nanowires by ammoniating sputtered Ga2O3/Co films on Si substrates
QIN Li-xia,XUE Cheng-shan,ZHUANG Hui-zhao,CHEN Jin-hua,LI Hong,YANG Zhao-zhu.Synthesis of GaN nanowires by ammoniating sputtered Ga2O3/Co films on Si substrates[J].Journal of Functional Materials,2008,39(5):851-853.
Authors:QIN Li-xia  XUE Cheng-shan  ZHUANG Hui-zhao  CHEN Jin-hua  LI Hong  YANG Zhao-zhu
Abstract:
Keywords:
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