用激光装置检验晶片

美国VTI公司已经报道了硅晶片和砷化镓晶片残余晶体缺陷检验方面的突破。这个公司化了十七年时间研究超平表面光学元件的测量和制造，并且发展了一种能非破坏测量极平表面的激光装置，这种极平表面用现有技术是无法检验的。