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准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法
引用本文:邓国庆,朱志强,贺龙海.准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法[J].大气与环境光学学报,2005(3).
作者姓名:邓国庆  朱志强  贺龙海
作者单位:中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所 安徽 合肥 230031,安徽 合肥 230031,安徽 合肥 230031
摘    要:准分子激光系统中的电磁干扰问题在许多应用中,特别在医疗设备中是不可忽视的一个问题。文中描述了准分子激光器中的电磁干扰的来源和干扰途径,并详细从激光放电回路、激光腔和软硬件设计角度讨论了抑制电磁干扰和提高系统可靠性的方法。

关 键 词:准分子激光  电磁干扰  放电回路

EMI and Suppression Methods in Excimer Laser System
DENG Guo-qing,ZHU Zhi-qiang,HE Long-hai.EMI and Suppression Methods in Excimer Laser System[J].Journal of Atmospheric and Environmental Optics,2005(3).
Authors:DENG Guo-qing  ZHU Zhi-qiang  HE Long-hai
Abstract:Electromagnetic interference (EMI) in excimer laser system is an effct which can not be ignored in many applications, especially in medical devices. The sources of EMI were described. The methods in which suppress the EMI and improve system's security in terms of discharge circuit, laser cavity, hard- software designs were discussed.
Keywords:excimer laser  electromagnetic interference  discharge circuit
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