| 表面形貌焦点跟踪测量方法的研究 |
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| 引用本文： | 谢峰,谢铁邦,张新宝.表面形貌焦点跟踪测量方法的研究[J].计量学报,2000,21(3):173-177. |
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| 作者姓名： | 谢峰 谢铁邦 张新宝 |
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| 作者单位： | 华中理工大学,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金! (5 95 75 0 83) |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自然焦点跟踪传感器，该传感器可实现表形貌的快速、非接触测量，其垂直测量范围为５００μｍ，最高分辨率为３ｎｍ。中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。
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| 关 键 词： | 表面形貌 非接触测量 聚焦探测 焦点跟踪测量 |
| 修稿时间： | 1999-08-09 |
Study on the Focus Tracing Method for Measuring Surface Topography |
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| XIE Feng,XIE Tie-bang,ZHANG Xin-bao.Study on the Focus Tracing Method for Measuring Surface Topography[J].Acta Metrologica Sinica,2000,21(3):173-177. |
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| Authors: | XIE Feng XIE Tie-bang ZHANG Xin-bao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Surface topography Non contact measurement Focus detection Servo control |
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