| 体声波复合谐振器新结构的研究 |
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| 引用本文： | 邹英寅 王跃林. 体声波复合谐振器新结构的研究[J]. 电子学报, 1994, 22(11): 9-12 |
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| 作者姓名： | 邹英寅 王跃林 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学青年基金,传感技术联合开放实验室资助 |
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| 摘 要： | 本文报道了一种由氧化锌薄膜和多晶硅膜片构成的体声波复合谐振器的新结构，与传统制作在硅支撑膜片上的压电复合谐振器不同，多晶硅支撑膜采用表面微机械技术获得，因而是完全平面工艺，不需要双面光刻和背面腐蚀。采用Ｓ枪磁控反应溅射在多晶硅膜片上获得了ｃ轴取向良好的氧化锌薄膜。所得的谐振器的基波工作频率在５６０ＭＨｚ左右，而尺寸小于２５０×２５０μｍ２。
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| 关 键 词： | 体声波器件 压电薄膜 硅表面微机械 谐振器 |
Study on a Novel Structure for Bulk Acoustic Wave Composite Resonator |
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| Zou Yingyin,Wang Yaolin. Study on a Novel Structure for Bulk Acoustic Wave Composite Resonator[J]. Acta Electronica Sinica, 1994, 22(11): 9-12 |
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| Authors: | Zou Yingyin Wang Yaolin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Bulk acoustic wave devices Piezoelectric thin films Silicon surface micromachine |
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