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| 低氟溶胶-凝胶法制备Φ76.2mmYBCO薄膜 | |
| 作者姓名： | 雷黎 赵高扬 刘晓梅 赵娟娟 |
| 作者单位： | 西安理工大学,陕西,西安,710048 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，西安应用材料创新基金 |
| 摘 要： | 采用低氟溶胶-凝胶法在Φ76.2 mm的LaAlO3(LAO)单晶衬底上制备YBCO薄膜,然后对Φ76.2 mm的YBCO薄膜样品的微观结构、膜厚及超导性能进行均匀性测试分析.结果表明:所制备的薄膜厚度均匀并具有较好的c轴外延生长取向和均匀的超导电性能. |
| 关 键 词： | 低氟溶胶-凝胶法 YBCO薄膜 大面积 外延生长 |
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