硬脆基底材料超精密抛光技术研究进展

随着高新技术的快速发展，对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求，传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精密抛光作为一种降低表面粗糙度、提高材料去除率，获得表面平坦化的加工技术被广泛用于材料表面末端精加工，以获得高精度的材料表面。本文结合近年来硬脆材料超精密抛光技术研究现状，分别介绍了磁流变抛光、离子束抛光和化学机械抛光等超精密抛光技术的原理及特点，总结了其在硬脆材料方面的应用研究进展，展望了硬脆材料超精密抛光技术未来的研究方向。