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| 激光干涉定位中调制的作用及调制频率的选择 | |
| 引用本文： | 黄松筠,陈静.激光干涉定位中调制的作用及调制频率的选择[J].激光与红外,1998,28(1):34-37. |
| 作者姓名： | 黄松筠 陈静 |
| 作者单位： | 国防科技大学应用物理系２０７中心实验室 |
| 摘 要： | 高精度的定位器是精密表密加工及机器人的重要保证。激光干涉定位器具有测量范围大，测量无接触，精度可达０．１－０．０１μｍ，因而具有乐观的应用前景。各国都作了大量的研究工作，并取得了进展。文章对激光干涉定位的机理进行了阐述，着重讨论了调制的作用，给出了实验数据。 |
| 关 键 词： | 激光干涉 干涉定位 调制 测量 |
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