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| 台面型自对准结构AlGaAa／GaAs HBT的工艺研究 | |
| 作者姓名： | 许军 周文益 |
| 摘 要： | 本文提出了一种台面型全自对准结构ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓＨＢＴ的制造方案，对其中的欧姆接触金属系统的制备，ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓ材料的选择性腐蚀及聚酰亚胺的反应离子刻蚀终点监控等关键工艺技术进行了研究，并给出了应用该工艺研制的ＨＢＴ器件的初步结果。 |
| 关 键 词： | 双极性晶体管 自对准结构 工艺 HBT |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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