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| 微几何量评定总则研究 | |
| 引用本文： | 刘伟,张苹,丁红宇.微几何量评定总则研究[J].机械工业标准化与质量,2009(11):47-48. |
| 作者姓名： | 刘伟 张苹 丁红宇 |
| 作者单位： | 机械科学研究总院,中机生产力促进中心 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划基金项目 |
| 摘 要： | 本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分：评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及评定结论。 |
| 关 键 词： | MEMS 微几何量 评定 |
Study on General Guideline of Micro-geometrical Measurements |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
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