| 基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计 |
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| 引用本文： | 周游,刘世杰. 基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计[J]. 激光与光电子学进展, 2014, 51(4): 41201-153 |
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| 作者姓名： | 周游 刘世杰 |
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| 作者单位： | 周游:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
刘世杰:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
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| 摘 要： | 研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法:三面互检法。该方法需要三个被测平面,两两组合测量,就能够得到被测平面在通过其中心两个垂直方向的线轮廓数据。根据Matlab和VC混合编程思想,设计了带界面的三面互检计算软件,能够对任何一台干涉仪所采集到的实验数据进行快速计算,并进行了实验验证,得到了所测干涉仪参考平晶的绝对面形,相对于Zygo软件计算误差为3%。
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| 关 键 词： | 测量 三面互检 Matlab VC 混合编程 |
| 收稿时间： | 2013-11-01 |
Three-Flat Testing Program Design Based on Matlab and VC Mixed Programming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | measurement three-flat testing Matlab VC mixed programming |
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