| 尾纤模块研磨轨迹的仿真及实验研究 |
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| 引用本文： | 张轩,陈淑英,李慧鹏,宋凝芳. 尾纤模块研磨轨迹的仿真及实验研究[J]. 半导体光电, 2016, 37(1): 197-201 |
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| 作者姓名： | 张轩 陈淑英 李慧鹏 宋凝芳 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室, 北京100083;中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室, 北京100083;中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室, 北京100083;中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室, 北京100083;中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室, 北京100083;中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室, 北京100083;中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室, 北京100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(61744104). |
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| 摘 要： | 对不同条件下制备的锑化镓抛光晶片表面进行了TOF-SIMS测试比较。结果表明使用体积比为5∶1的HCl与CH3COOH的混合溶液清洗腐蚀(100)GaSb晶片表面, 可以有效地去除金属离子、含S离子和大部分有机物, 而使用 (NH4)2S/(NH4)2SO4混合溶液方法钝化表面,可以使表面大部分Ga和Sb元素硫化, 降低了表面态密度。分析比较了清洗和钝化工艺对晶片表面化学成分的影响。
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| 关 键 词： | 锑化镓 TOF-SIMS 表面氧化 钝化 |
| 收稿时间： | 2015-02-04 |
Simulation and Experiment Study of Pigtail Module Grinding Track |
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| Abstract: | Simulation and Experiment Study of Pigtail Module Grinding Track |
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| Keywords: | GaSb TOF-SIMS surface oxidation passivation |
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