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| 压阻式高量程微加速度计的设计 | |
| 作者姓名： | 龚珊 徐晓辉 郭涛 王春水 |
| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;洛阳理工学院工程训练中心 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51075374)资助 |
| 摘 要： | 为了满足过载环境对高量程加速度计的需求,设计了一种高量程微加速度计。通过对敏感结构建立数学模型及Ansys静力学仿真,确定了该加速度计的总体设计,最后对加工完成的加速度计进行了测试。结果表明,该加速度计的灵敏度为193.3μV/g,在受到10 000 g以上的加速度作用时仍能正常工作,能够满足实际需要。 |
| 关 键 词： | 高过载 高量程 微加速度计 压阻效应 仿真 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |