| 聚酰亚胺振动膜微型电场传感器 |
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| 引用本文： | 龚超,夏善红,邓凯,白强,陈绍凤.聚酰亚胺振动膜微型电场传感器[J].微纳电子技术,2004,41(12):41-44. |
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| 作者姓名： | 龚超 夏善红 邓凯 白强 陈绍凤 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60172001)资助项目 |
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| 摘 要： | 设计并分析了一种新型的以硅为基底、聚酰亚胺为振动膜的微型电场传感器。此种传感器利用了聚酰亚胺耐热、耐腐蚀并具有良好机械性能的特点,采用MEMS技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其他器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此传感器的工作原理,并通过计算机模拟确定了增强信号的方法,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。
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| 关 键 词： | 电场传感器 有限元分析 微机电系统 |
| 文章编号： | 1671-4776(2004)12-0041-04 |
| 修稿时间： | 2004年10月14 |
A miniature electric field sensor using vibrating polyimide film |
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| GONG Chao,XIA Shan-hong,DENG Kai,BAI Qiang,CHEN Shao-feng.A miniature electric field sensor using vibrating polyimide film[J].Micronanoelectronic Technology,2004,41(12):41-44. |
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| Authors: | GONG Chao XIA Shan-hong DENG Kai BAI Qiang CHEN Shao-feng |
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| Affiliation: | GONG Chao1,2,XIA Shan-hong1,DENG Kai1,2,BAI Qiang1,CHEN Shao-feng1 |
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| Abstract: | A novel miniature electric field sensor(EFS)using a vibrating polyimide film constructed on the silicon substrate is introduced. Taking account of its high performance of heat-resistance,anti-erosion and mechanical strength,we ch oose polyimide as the material of the vibrating film. Compared to its counterpar ts,the EFS presented here has some advantages such as small dimension,light weig ht,low power consumption,easy to be integrated with other devices and low cost. The working principle,structure design proved by computer simulation and fabrica tion process of the EFS based on MEMS technologies are presented. |
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| Keywords: | EFS finite element method(FEM) MEMS |
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