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| MEMS光开关研究 | |
| 引用本文： | 刘文芹. MEMS光开关研究[J]. 传感器世界, 2005, 11(4): 30-34 |
| 作者姓名： | 刘文芹 |
| 作者单位： | 天津电力公司 |
| 摘 要： | 光开关是光通信网络的重要功能器件,MEMS光开关是最具发展前景的光开关之一.在简介不同种类光开关原理特点的基础上,详细分析了当前主要的MEMS光开关的分类、结构、工艺与性能特点,并给出这一领域的研究与发展状况. |
| 关 键 词： | MEMS 光开关 开关阵列 微镜 |
| 文章编号： | 1006-883X(2005)04-0030-005 |
The Research Of MEMS Optical Switch |
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