一种高精度CMOS温度传感器校准电路 |
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引用本文: | 卓琳,邵杰,任凤霞,万书芹,章宇新,黄立朝.一种高精度CMOS温度传感器校准电路[J].电子与封装,2023(6):65-69. |
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作者姓名: | 卓琳 邵杰 任凤霞 万书芹 章宇新 黄立朝 |
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作者单位: | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
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摘 要: | 针对集成式传感器中CMOS器件非理想因素导致的测量误差,设计了一种数字校准电路,校准电路由存储模块、失调误差校准模块和增益误差校准模块等组成。因模拟器件受温度影响较大,不同温度的增益线性度不同,所以增益误差采用分温度区间进行校准。电路采用0.18μm CMOS工艺实现,校准后温度传感器误差可提高到-0.03~+0.13℃。
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关 键 词: | 温度传感器 CMOS工艺 误差校准 |
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